氮化鋁（AlN）導(dǎo)熱盤(pán)因其高熱導(dǎo)率、高電絕緣性和良好機(jī)械強(qiáng)度，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域 高效熱管理 晶圓加熱／冷卻盤(pán) 在化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）或退火爐中，AlN 導(dǎo)熱盤(pán)均勻傳導(dǎo)加熱器產(chǎn)生的熱量，保證爐內(nèi)溫度分布均勻，進(jìn)而提升薄膜均勻性與工藝重復(fù)性。